חלקים בעלי דיוק גבוה מתייחסים לחלקים בעלי דרישות דיוק גבוהות, אשר לרוב דורשים עיבוד מדויק כדי לעמוד בדרישות. עיבוד פילוס הוא שיטת עיבוד מדויקת נפוצה, המשמשת בעיקר לשטח חומרי לוחות דקים.
באופן ספציפי, עיבוד פילוס הוא תהליך של מתיחה, דחיסה ועיוות של חומרי יריעה דקים באמצעות שיטות מכניות או טיפול בחום כדי למנוע מתח פנימי, להפוך את המשטחים שלהם למישוריים ולהשיג דרישות דיוק גבוהות. בעיבוד פילוס, יש לקחת בחשבון גורמים כגון קשיות החומר, חוזק וקשיחות כדי לקבוע את פרמטרי העיבוד ואת זרימת התהליך.
עיבוד פילוס משמש בדרך כלל לייצור רכיבים בעלי דיוק גבוה כגון מכשירים מדויקים, מכשירים אלקטרוניים ורכיבים אופטיים, שיכולים לשפר מאוד את האיכות והדיוק של המוצרים.